Šošovky :. Rovnako ako optických mikroskopov, SEM pomocou šošovky prinášať jasné a detailné zábery. Šošovky v týchto zariadeniach sa však pracuje inak. Pre jednu vec, oni nie sú vyrobené zo skla. Namiesto toho, že šošovky sú vyrobené z magnetov, ktoré sú schopné ohýbanie dráhu elektrónov. Tým sa šošovky sústredí a riadenie elektrónového lúča, čo zaisťuje, že elektróny končí presne tam, kde je potrebné ísť
komory pre vzorku :. Vzorka komora SEM je miesto, kde výskumníci vzorka sa, že sú skúmanie. Vzhľadom k tomu, musí byť vzorka udržiavaný extrémne ešte pre mikroskop produkovať jasný obraz, je potrebné vzorka komora je veľmi robustný a izolované od vibrácií. V skutočnosti, SEM sú tak citlivé na vibrácie, že sú často inštalované v prízemí budovy. Ukážkové komory SEM urobiť viac, než udržať vzorka stále. Oni tiež manipulovať vzorku, jeho umiestnenie v rôznych uhloch a pohybuje sa tak, že výskumníci nemuseli neustále znova pripojte objekt, aby sa rôzne obrazy
Detektory :. Môžete si myslieť, zo SEM je rôznymi typmi detektorov, oči mikroskopu. Tieto zariadenia detekovať rôzne spôsoby, ktoré elektrónový lúč interaguje s objektom vzorky. Napríklad, Everhart-Thornley detektory registrovať sekundárne elektróny, ktoré sú elektróny vytlačený z vonkajšieho povrchu vzorky. Tieto detektory sú schopné produkovať najviac detailné snímky povrchu objektu. Ostatné detektory, ako je napríklad spätne odrazených elektrónov detektorov a X-ray detektory, môže povedať výskumníkmi o zložení látky
vákuovej komory :. SEM vyžadujú vákuum na prevádzku. Bez vákua, elektrónový lúč generovaný elektrónové trysky by sa mohol dostať konštantný rušenie z častíc vzduchu v atmosfére. Nielen, že by tieto častice blokujú cestu elektrónového lúča, oni by tiež byť vyradený zo vzduchu a na vzorke, ktorá by narušila povrch vzorky.
Rovnako ako u mnohých vecí, čo je SEM viac ako súčet