V apríli 2001, Limited Liability Company EUV (EUV LLC) predstavila prvú plnohodnotnú prototyp EUV litografia stroja. EUV LLC je konzorcium zložené z niektorých z popredných svetových chipmakers a tri US Department of Energy výskumných laboratórií. Členovia zahŕňajú Intel, AMD, IBM, Micron, Infeneon a Motorola. Tieto spoločnosti sú v práci s virtuálnym National Laboratory, zložené z Sandia National Laboratories, Lawrence Livermore National Laboratory a Lawrence Berkeley National Laboratory. Výhodou byť členom tohto konzorcia je má prvú prioritu používať túto novú technológiu
Teraz sa pozrime, ako EUVL funguje
EUVL proces
Tu je ako EUVL funguje: ..
- A laser je zameraná na prúdom xenon plynu. Keď laser zasiahne xenon plyn, ohrieva plyn nahor a vytvára plazmu.
- Po vytvorení plazma, elektróny začínajú odlepovať na tom, a to vyžaruje svetlo na 13 nanometrov, čo je príliš krátky pre ľudské oko vidieť.
- The svetlo sa pohybuje do kondenzátora, ktorý združuje vo svetle tak, že je zameraný na maske.
- A znázornenie jednej úrovni počítačového čipu je vzorovaná na zrkadlo, použitím absorbér pre niektoré časti zrkadla, ale nie k iným. Tým sa vytvorí masku.
- Vzor na maske sa odráža na rad štyroch až šiestich zakrivených zrkadiel, čím sa znižuje veľkosť obrazu a zaostrovaním obrazu na kremíkový plátok. Každý zrkadlo ohýba svetlo mierne pre vytvorenie obrazu, ktorý sa má previesť na oblátky. To je len ako, ako sa šošovky vo fotoaparáte ohybu svetla pre vytvorenie obrazu na film.
Podľa Sweeney, celý proces sa opiera o vlnovej dĺžke. Ak sa stane, je vlnová dĺžka krátka, dostanete lepší obraz. Hovorí si, že pokiaľ ide o vytváranie fotografií s kamerou
" ,. Keď budete mať fotografiu niečoho, kvalita obrazu závisí na mnohých veciach, " on povedal. &Quot; A prvá vec, záleží na tom, je vlnová dĺžka svetla, ktorý používate, aby sa fotografie. Čím kratšia je vlnová dĺžka, tým lepšie je obraz môže byť. To je len zákon prírody ".
Ako 2001, mikročipy sú vyrobené z hlboko ultrafialovej litografie sú vyrobené s 248-nanometr
