Celý tento proces musí prebiehať vo vákuu pretože tieto vlnové dĺžky svetla sú tak krátke, že ani vzduch by ich absorbovať. Navyše, EUVL používa konkávne a konvexné zrkadlá pokryté niekoľkými vrstvami molybdénu a kremíka - tento povlak môže odrážať takmer 70 percent EUV svetla pri vlnovej dĺžke 13,4 nanometrov. Ďalších 30 percent je absorbovaný do zrkadla. Bez povlaku, svetlo by sa takmer úplne absorbuje pred dosiahnutím oblátky. Zrkadlové plochy musí byť takmer dokonalý; aj malé chyby v povlaky môže zničiť tvar optiky a narušiť plošného spoja vzor, čo spôsobuje problémy pri funkcii triesky.
Ďalšie informácie o EUVL a súvisiacich tém, pozrite sa na odkazy na ďalšej stránke.
